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簡要描述：熱式氣體流量計(jì)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
產(chǎn)品型號：5911DD4廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-05-28訪 問 量：2650詳細(xì)介紹
| 品牌 | GRYLLS/格里爾斯 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 差壓式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,石油,綜合 |
5911DD4熱式氣體流量計(jì)主要技術(shù)指標(biāo)
1 | 量程范圍 | ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
5911DD4熱式氣體流量計(jì)優(yōu)勢：
其大的優(yōu)點(diǎn)是能夠直接地測量質(zhì)量流量，而其他的儀器只能測量體積流量V錐流量計(jì)是一種的差壓式流量計(jì)量裝置，它以的邊壁逐步收縮節(jié)流方式，一改傳統(tǒng)節(jié)流裝置的幾乎所有的缺點(diǎn)，是差壓流量計(jì)性成果St是雷諾數(shù)的函數(shù)，St=f（1/Re）質(zhì)量流量控制器的原理是什么？質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成當(dāng)了解了以上三個(gè)在選擇質(zhì)量流量控制器需要關(guān)注的地方中會(huì)明白，好的質(zhì)量流量控制器不是單單只能進(jìn)行穩(wěn)定工作就可以的而是在穩(wěn)定工作的同時(shí)還能將事情做到接近完善的程度，只有這樣才能減小麻煩的發(fā)生率與出現(xiàn)情況的次數(shù)，也才能讓客戶進(jìn)行平穩(wěn)的收益與正常的工作流程不同類型的氣體用來沉積一個(gè)新的玻璃層如空氣、煤氣、氨氣等
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